SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS

PROBLEM TO BE SOLVED: To hold a substrate while aligning it to a rotation center.SOLUTION: A substrate treatment apparatus includes: a substrate supporting part 141 for supporting a substrate 9 from a lower side; a substrate rotation mechanism for rotating the substrate supporting part 141; and a to...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	ANDO YUKITSUGU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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