SINGLE CRYSTAL SAPPHIRE RIBBON FOR LARGE SUBSTRATE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sapphire ribbon for a large substrate usable for optical use such as a blue light-emitting diode.SOLUTION: In a spreading step for enlarging and growing the breadth of a crystal from a seed crystal by EFG method, a spreading angle of a sapphire ribbon is raised up...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sapphire ribbon for a large substrate usable for optical use such as a blue light-emitting diode.SOLUTION: In a spreading step for enlarging and growing the breadth of a crystal from a seed crystal by EFG method, a spreading angle of a sapphire ribbon is raised up to 50-90°. Hereby, a sapphire ribbon for a large substrate having no crystal failure can be produced, and a large sapphire substrate having a quality usable for optical use such as a blue light-emitting diode can be provided.
【課題】青色発光ダイオードなどの光学用途に使用できる大型基板用のサファイアリボンを提供すること。【解決手段】EFG法で種結晶から結晶の横幅が拡大して成長するスプレディング工程で、サファイアリボンのスプレディング角が50〜90?になるよう引き上げていくことによって、結晶不良のない大型基板用のサファイアリボンを作製することが出来、青色発光ダイオードなどの半導体用途に使用できる品質の大型のサファイア基板を提供することが出来た。【選択図】図1 |
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