MAGNETIC SENSOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic sensor stabilizing the magnetization of a free magnetic layer of an element layer using magnetoresistance effect by shape anisotropy to improve the linearity of a detection output, and stabilizing the fixation of magnetization of a fixed magnetic layer.SOL...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic sensor stabilizing the magnetization of a free magnetic layer of an element layer using magnetoresistance effect by shape anisotropy to improve the linearity of a detection output, and stabilizing the fixation of magnetization of a fixed magnetic layer.SOLUTION: An element layer 20 is a magnetoresistance effect element formed by laminating a fixed magnetic layer of a laminated ferrimagnetic structure and a free magnetic layer with a non-magnetic layer interposed therebetween. The element layer 20 has a narrow width dimension W2 in a non-sensing part 20c on which an electrode layer 13 is overlaid, and the shape anisotropy of the entire element layer 20 forcedly aligns the magnetization of the free magnetic layer along an X direction, thereby improving the linearity of a detection output. The element layer 20 has a large width dimension W1 in magnetic sensing parts 20a, 20b, and the direction of fixed magnetization P of the fixed magnetic layer is stable. This results in reduction of noise superposing on the detection output.
【課題】 磁気抵抗効果を利用した素子層のフリー磁性層の磁化を形状異方性により安定させて検知出力のリニアリティを向上させるとともに、固定磁性層の磁化の固定を安定させることができる磁気センサを提供する。【解決手段】 素子層20は、積層フェリ構造の固定磁性層と、フリー磁性層とが、非磁性層を挟んで積層された磁気抵抗効果素子である。電極層13が重ねられている非感知部20cでは、素子層20の幅寸法W2が狭く、素子層20全体の形状異方性によりフリー磁性層の磁化がX方向へ強く揃えられ、検知出力のリニアリティを向上できるようにしている。磁気感知部20a,20bでは、素子層20の幅寸法W1が大きく、固定磁性層の固定磁化Pの向きが安定している。その結果、検知出力に重畳するノイズを低減できる。【選択図】図5 |
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