SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate treatment apparatus that enables chemical liquid containers to be changed without involving human labor.SOLUTION: A substrate treatment apparatus 1 comprises: a carrier block D1 into which a carrier C holding a substrate W is to be brought; and a treatment block D3 provided with a liquid treatment module in which the substrate W undergoes treatment with chemical liquid. A chemical liquid block D2 accommodating a plurality of chemical liquid containers 50 in which chemical liquid to be fed to the liquid treatment module is deposited is so disposed as to be arrayed in one row relative to the carrier block D1 and the treatment block D3. In this chemical liquid block D2, the chemical liquid containers 50 are arranged in a container arranging unit 60 in a direction orthogonal to the arrangement direction of the carrier block D1 and the processing block D3, and the chemical liquid containers 50 are carried in and out through a carrying in/out port 69. And a mechanism 7 automatically exchanges used and new chemical liquid containers 50 between the container arranging unit 60 and the carrying in/out port 69. 【課題】人手を介さずに薬液容器の交換をすることが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを収納したキャリアＣが搬入されるキャリアブロックＤ１と、基板Ｗに対して薬液を用いた液処理が行われる液処理モジュールが設けられた処理ブロックＤ３とを備える。液処理モジュールに供給される薬液を貯溜した複数の薬液容器５０を収容する薬液ブロックＤ２は、キャリアブロックＤ１及び処理ブロックＤ３に対して一列に並ぶように設けられている。この薬液ブロックＤ２において、容器配置部６０には、キャリアブロックＤ１及び処理ブロックＤ３の並びの方向に対して直交する方向に複数の薬液容器５０が配置され、搬入搬出ポート６９では薬液容器５０の搬入出が行われる。そして機構７は、容器配置部６０と搬入搬出ポート６９との間で使用済み及び新規な薬液容器５０の自動交換を行う。【選択図】図２