COOLER USED IN PLASMA GENERATION CHAMBER OF RADIATION SOURCE FOR EXTREME ULTRAVIOLET WAVELENGTH RANGE

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cooler for use in a plasma generation chamber of a radiation source for an extreme ultraviolet wavelength range, excellent in sealing properties.SOLUTION: The cooler includes a heat sink 37 manufactured of a substrate material 36 having a thermal conductivity of greater than 50 W/mK. A coolant duct 35 configured to have a coolant to flow therethrough is formed in the substrate material 36. The cooler also includes: a connection piece 40 which connects coolant lines 38, 39 to the coolant duct 35 and comprises metal or a metal alloy; and a connection element connecting the connection piece 40 to the heat sink 37 so that, when the connection piece 40 is connected to the heat sink 37, a continuous line is formed by the coolant duct 35 and the coolant lines 38, 39. A sealing element comprising a metallic material or a metal alloy is disposed between the heat sink 37 and the connection piece 40, and surrounds continuous lines 35, 38, 39 to protect the sealing element against corrosion. 【課題】シール性に優れた、極端紫外線波長域用放射源のプラズマ生成室内で使用される冷却器を提供する。【解決手段】５０Ｗ／ｍＫよりも大きい熱伝導率を有する基板材料３６によって製造されるヒートシンク３７であって、基板材料３６には冷却剤が流れる冷却剤管３５が形成され、冷却剤ライン３８、３９を冷却剤管３５に接続する、金属または金属合金からなる接続片４０と、接続片４０がヒートシンク３７に接続される際に連続するラインが冷却剤管３５および冷却剤ライン３８、３９によって形成されるように接続片４０をヒートシンク３７に接続させる接続素子とを有し、金属素材または金属合金からなるシール素子が、ヒートシンク３７と接続片４０との間に配置され、連続するライン３５、３８、３９を囲み、腐食からシール素子を保護する。【選択図】図２