GAS SENSING SYSTEM AND METHOD

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide systems and methods for monitoring an output of a gas source.SOLUTION: A system 100 for monitoring an output of a gas source 130 comprises: a chamber 110 comprising a plurality of input ports 112 to receive inputs from a plurality of gas sources; and means for repeatedly blocking one of the plurality of input ports for a certain period of time, detecting which one of the plurality of input ports 112 is blocked, collecting data from a plurality of samples from an enclosure while the one of the plurality of input ports 112 is blocked, and storing the data in a memory in association with an indicator of which one of the plurality of input ports 112 is blocked. 【課題】ガス源の出力をモニタリングするためのシステムおよび方法を提供する。【解決手段】ガス源１３０の出力をモニタリングするためのシステム１００は、複数のガス源からの入力を受け入れるための複数の入力ポート１１２を備えるチャンバ１１０と、繰り返し、一定期間にわたって複数の入力ポート１１２のうちの1つを遮断し、複数の入力ポート１１２のうちのいずれが遮断されているかを検出し、複数の入力ポート１１２のうちの1つが遮断されている間に、筐体からの複数のサンプルからデータを収集し、複数の入力ポート１１２のうちのいずれが遮断されているかの指示と関連付けて、データをメモリ内に記憶するための手段とを備える。【選択図】図１