LIQUID FEED DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress degradation of accuracy of a measurement result of a flowmeter.SOLUTION: A first flow passage Q1 supplies a liquid material from a tank T to a head H. A second flow passage Q2 circulates the liquid material to the tank. First and second valves V1, V2 control a flow of the liquid material in the first and second flow passages. A first manometer M1 measures a pressure of the first flow passage on a downstream side from the first valve. A second manometer M2 measures a pressure of the second flow passage on a downstream side from the second valve. A flowmeter FM measures a flow rate of the first flow passage on an upstream side from a branch point of the first and second flow passages. A control device 110 controls a discharge amount of the liquid material discharged from the head. The control device 110 includes a discharge amount calculation part which calculates the discharge amount of the liquid material discharged from the head based on a ratio of a measurement value of the first manometer and a measurement value of the second manometer, and a measurement value of the flowmeter. 【課題】流量計の測定結果の精度が低下することを抑止すること。【解決手段】第１の流路Ｑ１は液状材料をタンクＴからヘッドＨへ供給させる。第２の流路Ｑ２は、液状材料をタンクへ循環させる。第１及び第２のバルブＶ１、Ｖ２は第１及び第２の流路内の液状材料の流れを制御する。第１の圧力計Ｍ１は第１のバルブよりも下流側の第１の流路の圧力を測定する。第２の圧力計Ｍ２は第２のバルブよりも下流側の第２の流路の圧力を測定する。流量計ＦＭは第１および第２の流路との分岐点よりも上流側の第１の流路の流量を測定する。制御装置１１０はヘッドから吐出される液体材料の吐出量を制御する。制御装置１１０は、第１の圧力計の測定値と第２の圧力計の測定値との比率と、流量計の測定値とに基づいて、ヘッドから吐出される液状材料の吐出量を算出する吐出量算出部を有する。【選択図】図１