SYSTEM FOR PERFORMING LASER FILAMENTATION WITHIN TRANSPARENT MATERIAL

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system and a method for forming continuous laser filaments in transparent materials.SOLUTION: A burst of ultrafast laser pulses is focused such that a beam waist is formed external to the material being processed without forming an external plasma channel, while a sufficient energy density is formed within an extended region within the material to support the formation of a continuous filament, without causing optical breakdown within the material. Filaments formed according to this method may exhibit lengths exceeding up to 10 mm. In some embodiments, an aberrated optical focusing element is employed to produce an external beam waist while producing distributed focusing of the incident beam within the material. Various systems are described that facilitate the formation of filament arrays within transparent substrates for cleaving/singulation and/or marking. 【課題】透明材料内に連続的なレーザーフィラメントを形成するためのシステムおよび方法。【解決手段】超高速レーザーパルスのバーストを、加工対象の材料の外部にビームウエストが形成されるように集束する。このとき、外部プラズマチャネルを形成することなく、かつ材料の内部の拡張された領域内に材料内での光学破壊を引き起こすことなく連続的なフィラメントの形成をサポートするための十分なエネルギー密度が形成されるようにする。この方法で形成されたフィラメントは、長さが最大１０ｍｍを超え得る。一部の実施形態では、収差光学集束要素を利用して、外部ビームウエストを生成しつつ、材料の内部で入射ビームを分散集束させる。クリービング／シンギュレーションおよび／またはマーキングのために透明基板の内部でのフィラメントアレイの形成を促進するさまざまなシステムが説明される。【選択図】なし