OPTICAL DEVICE HAVING DEFORMABLE OPTICAL ELEMENT

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical device capable of deforming an optical element in order to correct imaging errors.SOLUTION: The invention is related to an optical device 108 for a micro-lithograph comprising: an optical module 109; and a support structure part 110 for supporting the optical module. The optical module 109 comprises: an optical element 107.1; and a holding device 111 for holding the optical element. The holding device 111 comprises a deformation device 114 having a plurality of active deformation units 114.1. The deformation units 114.1 contact with the optical element 107.1, and are designed so as to impose pre-defined deformation on the optical element. The optical module 109 is fixed to the support structure part 110 in a replaceable manner. 【課題】結像誤差を補正するために光学素子を変形することが可能な光学装置を提供する。【解決手段】光学モジュール１０９と、光学モジュールを支持する支持構造部１１０とを備えるマイクロリソグラフィ用の光学装置１０８に関する。光学モジュール１０９は、光学素子１０７．１および光学素子を保持する保持装置１１１を備える。保持装置１１１は、複数の能動的な変形ユニット１１４．１を有する変形装置１１４を備え、変形ユニット１１４．１は光学素子１０７．１に接触し、光学素子に所定の変形を付与するように構成されている。光学モジュール１０９は交換可能に支持構造部１１０に固定されている。【選択図】図２