SPINDLE DROP DISTANCE INFORMATION DETECTION MECHANISM AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCORPORATING THE SAME

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the presence or absence of a contact of a drill on a desired conductor layer to exactly be detected by eliminating a disturbance factor or the like when a bore hole is made down to a desired conductor layer of a substrate by drilling with a spindle.SOLUTION: A pair of two of the same substrates is fixed inside a processing apparatus: when one substrate is bored with a spindle to make a drill come in contact with a desired conductor layer by connecting one of high-frequency AC outputs so that flux directions generated by a current transformer in two input coils of the current transformer may cancel each other to electrify a desired conductor layer of both the substrates, the contact causes electric current to flow via an electrostatic capacitance between the spindle body of the spindle and the rotor, electric current accordingly develops in the output coil side of the current transformer, so that the presence or absence of a contact of a drill on a desired conductor layer is determined with the result that drop distance information from an initial position of the spindle to this conductor layer can be acquired. 【課題】スピンドルのドリルによって、基板の所望の導体層まで正確に穿孔しようとする際、外乱要因等をなくしてドリルの所望の導体層への接触の有無を的確に検出可能とする。【解決手段】加工装置内に同一基板を２枚１組として加工台上に固定し、高周波交流の出力の一方を、変流器の２個の入力巻線において変流器に発生させる磁束の方向が互いに打ち消し合うように接続して、両基板の所望の導体層に対して通電することで、一方の基板をスピンドルにより穿孔して、ドリルが当該所望の導体層に接触すると、その接触によって、当該スピンドルのスピンドル本体とロータ間の静電容量を介して電流が流れ、それに応じて変流器の出力巻線側に電流が生じることから、その出力の有無を検出することによって、ドリルの所望の導体層への接触の有無を判定し、スピンドルの当初位置からそこまでの下降距離情報を入手することができる。【選択図】図１