PLASMA STERILIZER

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma sterilizer which does not use a special gas such as a rare gas, can generate plasma with small heat generation, and is suitable for a wide range of sterilization.SOLUTION: A plasma sterilizer includes a first electrode 32 having a plurality of through holes 32' through which air passes and a second electrode 35 comprising a plurality of needle electrodes provided at positions respectively facing the plurality of through holes 32' of the first electrode 32. Air is supplied into a cylindrical handpiece 30, and a high frequency voltage is applied between the first electrode 32 and the second electrode 33, whereby oxygen and water vapor in the air are ionized to generate plasma. The generated plasma is ejected from a plasma irradiation port of a not illustrated chip fitted to a handpiece body 30. 【課題】希ガス等の特別なガスを用いることなく、かつ、発熱の少ないプラズマ発生を可能にし、更には、広範囲の殺菌に適したプラズマ滅菌装置を提供する【解決手段】プラズマ殺菌装置は、エアーが通過する複数の貫通孔３２'を有する第１の電極３２と、第１の電極３２の複数の貫通孔３２'のそれぞれに対向する位置に設けた複数の針状電極からなる第２の電極３５を備えている。筒状のハンドピース３０内にエアーを供給するとともに、第１の電極３２と前記第２の電極３３との間に高周波電圧を印加すると、エアー中の酸素及び水蒸気が電離されてプラズマが発生される。発生したプラズマは、ハンドピース本体部３０に装着した図示しないチップのプラズマ照射口から噴出するようになっている。【選択図】図３