HIGH-FREQUENCY POWER SUPPLY DEVICE

PROBLEM TO BE SOLVED: To resolve problems that, in the conventional reflection protection control, a progressive wave power outputted from a progressive wave power output part is suppressed too much, and the responsibility of the entire control system delays because a double feedback control loop is required.SOLUTION: A high-frequency power supply device 1 is configured as shown in Fig. 2, for example. A maximum power value setting part 53 reads out an outputtable power value corresponding to a reflection coefficient at a current time point calculated by a reflection coefficient calculation part 51, from an outputtable power value table 52, and outputs it as an outputtable power value Pmax at the current time point. A second output setting part 70 compares a first output setting value PFset1 and the outputtable power value Pmax at the current time point outputted from the maximum power value setting part 53 with each other, and outputs the smaller one as a second output setting value PFset2. An output controller 80 controls a progressive wave power output part 10 so that the progressive wave power detection value Pf is equivalent to the second output setting value PFset2. 【課題】従来の反射保護制御では、進行波電力出力部から出力させる進行波電力を抑制しすぎる。また２重のフィードバック制御ループが必要なので、制御系全体の応答性が遅くなってしまう。【解決手段】本発明の高周波電源装置１は、例えば図２のように構成される。最大電力値設定部５３は、反射係数演算部５１によって演算された現時点の反射係数Γに対応する出力可能電力値を出力可能電力値テーブル５２から読み出して、現時点の出力可能電力値Ｐｍａｘとして出力する。第２の出力設定部７０は、第１の出力設定値ＰＦｓｅｔ１と最大電力値設定部５３から出力される現時点の出力可能電力値Ｐmaxとを比較して、小さい方を第２の出力設定値ＰＦｓｅｔ２として出力する。出力制御部８０では、進行波電力検出値Ｐｆが第２の出力設定値ＰＦｓｅｔ２と等しくなるように進行波電力出力部１０を制御する。【選択図】 図２