HIGH FREQUENCY POWER SUPPLY

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that even if abnormality occurs in a high frequency signal generator and an error of the actual output frequency occurs for a set frequency, that abnormality is not known.SOLUTION: A traveling wave power output from a traveling wave power output unit 30 is detected by a directional coupler 50, and a traveling wave detection signal Vis sent to a filter 100. An output from the filter is inputted, as an input signal V, to a frequency information detection unit 110 and frequency information is detected. An abnormality determination unit 120 receives a set frequency foutput from a frequency setting unit 10 and frequency moving average value information F(t) output from the frequency information detection unit 110, determines that it is abnormal when the absolute value of the difference between the set frequency fand the frequency moving average value information F(t) exceeds a predetermined threshold, and outputs an abnormal signal F. When abnormality occurs in a high frequency signal generator 20, or the like, that abnormality can thereby be detected. 【課題】 高周波信号発生器に異常が生じて、設定周波数に対する実際の出力周波数の誤差が生じたとしても、その異常が分からなかった。【解決手段】 進行波電力出力部３０から出力された進行波電力を方向性結合器５０で検出し、検出した進行波検出信号Ｖｆをフィルタ１００に送る。フィルタ１００の出力は、入力信号Ｖｉｎとして周波数情報検出部１１０に入力されて周波数情報が検出される。異常判定部１２０は、周波数設定部１０から出力された設定周波数ｆｓｅｔと周波数情報検出部１１０から出力された周波数移動平均値情報Ｆａｖｅ［ｔ］とを入力し、設定周波数ｆｓｅｔと周波数移動平均値情報Ｆａｖｅ［ｔ］との差の絶対値が、予め定めた閾値を超えたときに異常と判定し、異常信号Ｆｅｒｒを出力する。高周波信号発生器２０等に異常が生じた場合に、その異常を検出することができる。【選択図】 図１