MAGNETIC SENSOR SYSTEM

PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely detect a physical quantity related to a relative position relation between a scale and a magnetic sensor including the relative movement direction of the scale relative to the magnetic sensor.SOLUTION: A magnetic sensor system includes a scale 1 and a magnetic sensor 2 whose relative position relation is changeable in a first direction D1, and an operation unit. The magnetic sensor 2 includes detection circuits 10, 20, and 30 disposed at positions P1, P2, and P3, respectively. Each of the detection circuits 10, 20, and 30 includes a spin valve type MR element. Regarding the first direction D, a difference in two positions separated the farthest among the first to third positions is within one pitch in the change of the relative position relation of the scale 1 and magnetic sensor 2. The operation unit generates a first and a second after-operation signals whose phase is different from each other by the operation using each detection signal of the detection circuits 10, 20, and 30. 【課題】磁気センサに対するスケールの相対的な移動方向を含む、スケールと磁気センサとの相対的位置関係に関連する物理量を精度よく検出する。【解決手段】磁気センサシステムは、第１の方向Ｄ１に相対的位置関係が変化し得るスケール１および磁気センサ２と、演算部を備えている。磁気センサ２は、それぞれ位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３に配置された検出回路１０，２０，３０を有している。検出回路１０，２０，３０の各々は、スピンバルブ型のＭＲ素子を含んでいる。第１の方向Ｄについて、第１ないし第３の位置のうち互いに最も離れた２つの位置の差は、スケール１と磁気センサ２の相対的位置関係の変化における１ピッチ以内である。演算部は、検出回路１０，２０，３０の各検出信号を用いた演算によって、互いに位相が異なる第１および第２の演算後信号を生成する。【選択図】図１