CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide chemical vapor deposition apparatus and a method of using the apparatus. SOLUTION: The chemical vapor deposition apparatus 10 comprises a heating element capable of emitting electromagnetic radiation; a retort 16 positioned relative to the heating element to receive...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WEAVER SCOTT ANDREW, RUCKER MICHAEL H, LOU VICTOR LIENKONG, LEWIS DANIEL JOSEPH, DALAKOS GEORGE THEODORE, SAYLOR MATTHEW DAVID
Format: Patent
Sprache:eng
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