SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a Zn diffusion region 7, having a Zn concentration of 5E18/cm3or lower inside an AlxGa1-xAs (0

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OZAWA YASUHIKO, YATANI MITSUYOSHI
Format: Patent
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a Zn diffusion region 7, having a Zn concentration of 5E18/cm3or lower inside an AlxGa1-xAs (0