Elemento strutturale micromeccanico

A micromechanical component having a main extension plane is provided; the micromechanical component encloses a first cavern and a second cavern, and a first pressure prevails in the first cavern while a second pressure prevails in the second cavern, and a first layer of the micromechanical componen...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHWENK, CHRISTOF, SCHMITZ, VOLKER, BREITLING, ACHIM, KUEPPERS, HARTMUT, SCHITTENHELM, NICOLE
Format:	Patent
Sprache:	ita
Schlagworte:	ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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