Methods for the provision of a coated graphene layer structure on a silicon-containing wafer
A method for providing a coated graphene layer structure 410 on a silicon-containing wafer 435, the method comprising: providing a wafer stack 420 comprising, a sapphire substrate 400, a nitride layer 405, a graphene layer structure 410 and a dielectric passivation layer 415; forming or adhering 300...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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