MEMS device and process
A MEMS transducer comprises a membrane or diaphragm structure having a flexible membrane layer 101 and at least one electrode layer 102a. The electrode layer 102 is spaced from the flexible membrane layer such that at least one air volume extends between the material of the electrode layer and the m...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!