MEMS device and process

A MEMS transducer comprises a membrane or diaphragm structure having a flexible membrane layer 101 and at least one electrode layer 102a. The electrode layer 102 is spaced from the flexible membrane layer such that at least one air volume extends between the material of the electrode layer and the m...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Colin Robert Jenkins, Clive Robert Graham, Marek Sebastian Piechocinski
Format: Patent
Sprache:eng
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