Use of an active wafer temperature control independent from wafer emissivity

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	JACK HWANG, MARK ARMSTRONG, ROBERT JAMES, KARSON L KNUTSON, RICHARD BRINDOS, ERIC J LAMBERT, JONATHAN LEONARD, JUSTIN SANDFORD
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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