Preparation of substantially polycrystalline silicon fibers from methylpolydisilylazanes

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JAMES ALAN RABE, JONATHAN LIPOWITZ, DAVID CHARLES DELEEUW
Format: Patent
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung: