Method of manufacturing aluminium nitride

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HIROAKI KOTAKA, SHUITSU MATSUO, HIDENORI YAMAOKA, HIROYUKI TERADA, MASAHIRO ANDO, YASUO MISU, MIKIYA FUJII
Format: Patent
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung: