Method of inspecting the surface of a workpiece

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	NORIHIDE KATO, KENICHIRO MORI, TOMOHIDE SHIMIZU
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTING COUNTING IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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