DISPOSITIF OPTOELECTRONIQUE DE DEFORMATION A LA DEMANDE D'UNE PORTION CRISTALLINE SEMICONDUCTRICE COUPLEE OPTIQUEMENT A UN GUIDE D'ONDE

L'invention porte sur un dispositif optoélectronique (1) de déformation à la demande d'une portion cristalline semiconductrice (10), comportant : une structure de déformation (20), comportant : une couche mince structurée (23) ayant deux bras (23.1) suspendus au-dessus d'une cavité ; la portion cristalline semiconductrice (10), reposant sur les deux bras (23.1) ;un guide d'onde (2), couplé optiquement à la portion cristalline semiconductrice (10) ;un dispositif électrique de déformation, adapté à déformer la portion cristalline semiconductrice (10), comportant : une source électrique, adaptée à générer un signal électrique de commande ; et un circuit électrique (31, 32, 33, 34 ; 35, 36), adapté à générer dans les bras (23.1), en réponse au signal électrique de commande, un champ électrique ou un champ de température, induisant une déformation des bras (23.1) et donc de la portion cristalline semiconductrice (10). Figure pour l'abrégé : Fig. 1C The invention relates to an optoelectronic device (1) for on-demand deformation of a crystalline semiconductor portion (10), comprising: o a deformation structure (20), comprising: a structured thin film (23) having two arms (23.1) suspended above a cavity; o the crystalline semiconductor portion (10), resting on the two arms (23.1); o a waveguide (2) optically coupled to the crystalline semiconductor portion (10); o an electrical deformation device, suitable for deforming the crystalline semiconductor portion (10) and comprising: an electrical power source suitable for generating an electrical control signal; and an electrical circuit (31, 32, 33, 34; 35, 36) suitable for generating, in response to the electrical control signal, an electric field or a temperature field in the arms (23.1) which induces a deformation of the arms (23.1) and therefore of the crystalline semiconductor portion (10).