Procédé de recyclage d'un gaz effluent issu d'un dépôt ou d'une infiltration chimique en phase vapeur

Procédé de recyclage d'un gaz effluent issu d'un dépôt ou d'une infiltration chimique en phase vapeur L'invention concerne un procédé de recyclage d'un gaz effluent (50) issu d'un dépôt ou d'une infiltration chimique en phase vapeur et comprenant du dihydrogène, des hydrocarbures insaturés légers en C1 à C4 et des hydrocarbures lourds en C5 et plus, comprenant les étapes suivantes : a) une élimination (60) des hydrocarbures lourds (501) du gaz effluent, b) une hydrogénation catalytique (80) des hydrocarbures insaturés légers de sorte à les éliminer en les transformant en hydrocarbures saturés légers en C1 à C4, cette hydrogénation catalytique étant réalisée sur le gaz effluent obtenu après mise en œuvre de l'étape a) et consommant une partie du dihydrogène présent dans ledit gaz effluent, et c) l'introduction du gaz effluent (402) obtenu après mise en œuvre de l'étape b) dans une enceinte réactionnelle (30) et la formation de pyrocarbone par dépôt ou infiltration chimique en phase vapeur à partir des hydrocarbures saturés légers en C1 à C4 présents dans le gaz effluent ainsi introduit. Figure pour l'abrégé : Fig. 1. The invention relates to a method for recycling an effluent gas (50) resulting from chemical vapour deposition or infiltration of pyrocarbon and comprising dihydrogen, C1 to C4 light unsaturated hydrocarbons and C5+ heavy hydrocarbons, the method comprising the following steps: a) removing (60) the heavy hydrocarbons (501) from the effluent gas; b) catalytically hydrogenating (80) the light unsaturated hydrocarbons so as to remove them by transforming them into C1 to C4 light saturated hydrocarbons, this catalytic hydrogenation step being carried out on the effluent gas obtained after carrying out step a) and consuming some of the dihydrogen present in the effluent gas; and c) adding the effluent gas (402) obtained after carrying out step b) to a reaction chamber (30) and forming pyrocarbon by chemical vapour deposition or infiltration using the C1 to C4 light saturated hydrocarbons present in the effluent gas thus added.