Procédé de contrôle des paramètres de fonctionnement d'une pompe à vide turbomoléculaire

Procédé de contrôle des paramètres de fonctionnement d'une pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant :- un stator (2),- un rotor (3), - un moteur (16) configuré pour entrainer le rotor (3) en rotation dans le stator (2), - un dispositif de chauffage interne (21) agencé dans le chemin d'écoulement des gaz de la pompe à vide (1) et configuré pour chauffer le rotor (3), - un capteur de température configuré pour mesurer la température du rotor (3), - un dispositif de chauffage externe (27) configuré pour chauffer le stator (2),caractérisé en ce que le procédé de contrôle comporte :- un mode de fonctionnement nominal dans lequel on chauffe le rotor (3) via le dispositif de chauffage interne (21), tant que la température mesurée du rotor (3) est inférieure à un seuil de température pour un paramètre représentatif de la puissance consommée par le moteur (16) donné et - un mode de fonctionnement de surrégime dans lequel on coupe le chauffage interne du rotor (3) lorsque la température mesurée du rotor (3) est supérieure ou égale au seuil de température. Figure 1 A method for controlling the operating parameters of a turbomolecular vacuum pump (1) comprising: - a stator (2), - a rotor (3), - a motor (16) configured to drive the rotor (3) to rotate in the stator (2), - an internal heating device (21) arranged in the gas flow path of the vacuum pump (1) and configured to heat the rotor (3), - a temperature sensor configured to measure the temperature of the rotor (3), - an external heating device (27) configured to heat the stator (2), characterized in that the control method comprises: - a nominal operating mode in which the rotor (3) is heated via the internal heating device (21) as long as the measured temperature of the rotor (3) is less than a given temperature threshold for a parameter representative of the power consumed by the motor (16), and - an overspeed operating mode in which the internal heating of the rotor (3) is cut when the measured temperature of the rotor (3) is greater than or equal to the temperature threshold.