procédé de déformation d'une puce
L'invention concerne un procédé de déformation d'une puce reposant sur une face support concave d'une cale, le procédé comprenant : a) une étape de positionnement d'une puce, par sa face contact, sur une face support d'une cale ; b) une étape positionnement d'une membra...
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Format: | Patent |
Sprache: | fre |
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Zusammenfassung: | L'invention concerne un procédé de déformation d'une puce reposant sur une face support concave d'une cale, le procédé comprenant : a) une étape de positionnement d'une puce, par sa face contact, sur une face support d'une cale ; b) une étape positionnement d'une membrane en recouvrement d'une face utile de la puce, opposée à la face contact, la membrane séparant de manière hermétique un premier espace d'un deuxième espace dans lequel se trouvent l'au moins une cale et l'au moins une puce ; c) une étape d'établissement d'une différence de pression entre le premier espace et le deuxième espace de sorte que la membrane applique un effort de déformation, sur la face utile de la puce ; ledit procédé étant caractérisé en ce que l'étape c) est exécutée pour appliquer un effort en premier lieu sur une zone centrale de la puce. Figure 4 |
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