Détecteur thermique de rayonnement

« Détecteur thermique de rayonnement » Microcapteur thermoélectrique formé par un empilement de couches comprenant, depuis une face inférieure vers une face supérieure du microcapteur un support en matériau conducteur thermique, une couche constituée d'un matériau diélectrique, au moins une paire de couches, formant un thermocouple, dont les deux couches sont séparées, par une tranchée, d'une distance minimale supérieure à 500 nm, une couche de métal recouvrant partiellement l'au moins une paire de couches. Dans une première configuration du microcapteur, la couche de métal comprend une portion centrale qui recouvre, au moins, une portion de chacune des deux couches de l'au moins une paire de couches qui est adjacente à la tranchée. Dans une seconde configuration du microcapteur, une portion centrale d'une des deux couches de l'au moins une paire de couches recouvre, au moins, une portion centrale de l'autre couche de l'au moins une paire de couches. Le microcapteur présente, pour un intervalle de températures de mesure donné, noté [Tmin, Tmax], un paramètre ZTeffectif compris entre 0,1 et 1,9, ZT est le facteur de mérite du microcapteur et T est la température de mesure. Figure pour l'abrégé : Figure 1 The invention relates to a thermoelectric microsensor formed of a stack of layers comprising, from a lower face to an upper face of the microsensor, a support made from a thermally conducting material, a layer made from a dielectric material, at least a pair of layers, forming a thermocouple, the two layers of which are separated, by a trench, by a minimum distance in excess of 500 nm, a layer of metal partially covering the at least one pair of layers. In a first configuration of the microsensor, the layer of metal comprises a central portion which covers, at the least, a portion of each of the two layers of the at least one pair of layers which is adjacent to the trench. In a second configuration of the microsensor, a central portion of one of the two layers of the at least one pair of layers covers, at the least, a central portion of the other layer of the at least one pair of layers. The microsensor has, for a given range of measurement temperatures denoted [Tmin, Tmax], a parameter ZTeffective which is comprised between 0.1 and 1.9, ZT being the figure of merit of the microsensor, and T being the measurement temperature.