Pompe à vide turbomoléculaire et procédé d'assemblage

Pompe à vide (1) turbomoléculaire dans laquelle chaque étage stator annulaire (9) est respectivement formé de deux demi-secteurs de stators (9a, 9b) opposés radialement comprenant chacun un secteur à ailettes (20) et un secteur entretoise (21) situé en périphérie d'un secteur à ailettes (20) re...

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1. Verfasser: VARENNES, Nicolas
Format: Patent
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Pompe à vide (1) turbomoléculaire dans laquelle chaque étage stator annulaire (9) est respectivement formé de deux demi-secteurs de stators (9a, 9b) opposés radialement comprenant chacun un secteur à ailettes (20) et un secteur entretoise (21) situé en périphérie d'un secteur à ailettes (20) respectif. La pompe à vide (1) comporte en outre un dispositif élastique annulaire (23) métallique interposé entre d'une part, une deuxième bordure annulaire (24) du logement (8) située du côté de l'orifice d'aspiration (4) et d'autre part, les secteurs entretoises (21) des empilements de demi-secteurs de stator (9a, 9b), les empilements de demi-secteurs de stator (9a, 9b) étant maintenus dans le logement (8) par compression du dispositif élastique annulaire (23) par serrage axial du carter (2a) à une douille haute pression (2b) du stator (2). Figure 1 The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) in which each annular stator stage (9) is respectively formed of two radially opposite stator half-sectors (9a, 9b) each comprising a finned sector (20) and a spacer sector (21) located on the periphery of a respective finned sector (20). The vacuum pump (1) further comprises an annular elastic device (23) made of metal inserted between, on the one hand, a second annular border (24) of the installation (8) located on the side of the suction opening (4) and, on the other hand, the spacer sectors (21) of the stacks of stator half-sectors (9a, 9b), the stacks of stator half-sectors (9a, 9b) being held in the installation (8) through the compression of the annular elastic device (23) by axially clamping the casing (2a) to a high-pressure bush (2b) of the stator (2).