PROCÉDÉ DE MESURE TOPOGRAPHIQUE ET MACHINE DE MESURE TOPOGRAPHIQUE

PROCÉDÉ DE MESURE TOPOGRAPHIQUE ET MACHINE DE MESURE TOPOGRAPHIQUE Le procédé de mesure topographique comporte fournir un échantillon (1) comportant une première surface munie d'une pluralité de motifs saillants (2). La première surface de l'échantillon (1) est éclairée au moyen d'une lumière structurée qui définit plusieurs motifs répétitifs. La lumière structurée est émise selon un premier angle (α) par rapport à la première surface. Une première image de la première surface de l'échantillon (1) éclairé par la lumière structurée est acquise. La première image est acquise selon un deuxième angle (β) par rapport à la première surface. Une deuxième image de l'échantillon (1) éclairé est acquise. La deuxième image se distingue de la première image par une valeur de la durée d'exposition. La première image est comparée avec la deuxième image de manière à déterminer la présence d'au moins un artefact sur la première image. Une image de référence est formée à partir de la première image et de la deuxième image. L'image de référence est dépourvue de l'artéfact. Une grandeur représentative de la première surface est calculée à partir de l'image de référence. Figure pour l'abrégé : figure 1 A topographic measurement method includes provision of a sample including first surface provided with plurality of salient patterns. The first surface of the sample is illuminated by means of structured light that defines several repetitive patterns. The structured light is emitted at first angle with respect to first surface. A first image of first surface of sample illuminated by structured light is acquired. The first image is acquired at second angle with respect to first surface. A second image of illuminated sample is acquired. The second image differs from first image by value of exposure time. The first image is compared with second image to determine presence of at least one artefact on the first image. A reference image is formed from the first image and the second image. The reference image is devoid of any artefact. A quantity representative of the first surface is calculated from the reference image.