Procédé amélioré de mesure d'un écart d'alignement par diffusion des rayons X aux petits angles par transmission - T-SAXS ; Système instrumental et produit programme d'ordinateur associés

Procédé amélioré de mesure d'un écart d'alignement par diffusion des rayons X aux petits angles par transmission - T-SAXS ; Système instrumental et produit programme d'ordinateur associés. Ce procédé de mesure T-SAXS d'un écart d'alignement entre deux réseaux de lignes portés par deux niveaux d'un composant microélectronique (C), un repère xyz étant associé au composant, les lignes des deux réseaux étant orientées selon la direction y, les deux réseaux étant superposés selon la direction z, et l'écart d'alignement étant mesuré selon la direction x, se caractérise par les étape de : acquérir une pluralité de mesures d'intensité d'un faisceau de rayons X transmis pour une pluralité d'angles d'incidence du faisceau de rayons X ; reconstruire, à partir de la pluralité de mesures d'intensité, une figure de diffraction ; déterminer, le long d'une tige de Bragg d'intérêt de la figure de diffraction, les positions de chaque point d'une paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d'intérêt ; et, calculer l'écart d'alignement à partir des positions déterminées. Figure pour l'abrégé : Figure 1