Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant

Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: FAIN, Bruno
Format: Patent
Sprache:fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator FAIN, Bruno
description Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la membrane, jusqu'à une extrémité, l'extrémité étant disposée à une hauteur (h), par rapport au fond, inférieure à la profondeur de la cavité (d2). Figure 2A.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_FR3131291A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>FR3131291A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_FR3131291A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqNijsKAjEUANNYiHqH11lZxFSWIrtYiljYLc_kLQSSl5jPoXKOXEwXPIDVzMCsxfOWgu7N9AaGYA6siw3M6GzGxcDsKxN48q-EX1kSNMZCNUFvjnRJwfemke27EqTecmDkshWrGV2m3Y8bAePwuFwPFMNEOaImpjKNdyWVPJ7kWao_lg8Ekj2h</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant</title><source>esp@cenet</source><creator>FAIN, Bruno</creator><creatorcontrib>FAIN, Bruno</creatorcontrib><description>Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la membrane, jusqu'à une extrémité, l'extrémité étant disposée à une hauteur (h), par rapport au fond, inférieure à la profondeur de la cavité (d2). Figure 2A.</description><language>fre</language><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2023</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20230630&amp;DB=EPODOC&amp;CC=FR&amp;NR=3131291A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76294</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20230630&amp;DB=EPODOC&amp;CC=FR&amp;NR=3131291A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>FAIN, Bruno</creatorcontrib><title>Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant</title><description>Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la membrane, jusqu'à une extrémité, l'extrémité étant disposée à une hauteur (h), par rapport au fond, inférieure à la profondeur de la cavité (d2). Figure 2A.</description><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</subject><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2023</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNijsKAjEUANNYiHqH11lZxFSWIrtYiljYLc_kLQSSl5jPoXKOXEwXPIDVzMCsxfOWgu7N9AaGYA6siw3M6GzGxcDsKxN48q-EX1kSNMZCNUFvjnRJwfemke27EqTecmDkshWrGV2m3Y8bAePwuFwPFMNEOaImpjKNdyWVPJ7kWao_lg8Ekj2h</recordid><startdate>20230630</startdate><enddate>20230630</enddate><creator>FAIN, Bruno</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20230630</creationdate><title>Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant</title><author>FAIN, Bruno</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_FR3131291A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>fre</language><creationdate>2023</creationdate><topic>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</topic><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>FAIN, Bruno</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>FAIN, Bruno</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant</title><date>2023-06-30</date><risdate>2023</risdate><abstract>Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la membrane, jusqu'à une extrémité, l'extrémité étant disposée à une hauteur (h), par rapport au fond, inférieure à la profondeur de la cavité (d2). Figure 2A.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language fre
recordid cdi_epo_espacenet_FR3131291A1
source esp@cenet
subjects MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TRANSPORTING
title Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-22T12%3A17%3A41IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=FAIN,%20Bruno&rft.date=2023-06-30&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EFR3131291A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true