Procédé de fonctionnalisation d'une membrane d'un capteur électromécanique résonant

Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	FAIN, Bruno
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Capteur électromécanique (1), comportant : une membrane (25), suspendue sur une cavité, ménagée dans un substrat (10) ; un empilement piézoélectrique (30), porté par la membrane ; le capteur étant tel que : la cavité comporte au moins une butée, s'étendant à partir du fond de la cavité, vers la membrane, jusqu'à une extrémité, l'extrémité étant disposée à une hauteur (h), par rapport au fond, inférieure à la profondeur de la cavité (d2). Figure 2A.