Chambre à vapeur

Chambre à vapeur La présente description concerne un procédé de fabrication d'une chambre à vapeur (300) comprenant les étapes suivantes : (a) graver, dans un premier substrat (301), au moins une première cavité (303) et au moins un canal (313) s'étendant à partir d'une face supérieure (305) dudit premier substrat (301), une première extrémité (315) dudit canal (313) débouchant dans ladite au moins une cavité (303) ; (b) coller une face inférieure d'une plaque (309) à la face supérieure (305) dudit premier substrat (301), la plaque (309) comprenant au moins une première région en un matériau ductile (321) disposée en regard de ladite première extrémité (315) dudit canal (313) ; (c) remplir ledit canal (313) avec un fluide de refroidissement (319) ; et (d) fermer ladite cavité (303) en appliquant une pression sur ladite région en matériau ductile de la plaque (309) jusqu'à obstruer ladite première extrémité (315) dudit canal (313). Figure pour l'abrégé : Fig. 2 The present description concerns a method of manufacturing a vapor chamber (300) comprising the following steps:(a) etching, in a first substrate (301), at least one first cavity (303) and at least one channel (313) extending from an upper surface (305) of said first substrate (301), a first end (315) of said channel (313) emerging into said at least one cavity (303);(b) bonding a lower surface of a plate (309) to the upper surface (305) of said first substrate (301), the plate (309) comprising at least one first region made of a ductile material (321) arranged in front of said first end (315) of said channel (313);(c) filling said channel (313) with a cooling fluid (319); and(d) closing said cavity (303) by applying a pressure on said region of ductile material of the plate (309) to obstruct said first end (315) of said channel (313).