Pompe à vide turbomoléculaire et procédé associé
Pompe à vide turbomoléculaire et procédé associé Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un stator (2), un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2) et un moteur (16) configuré pour entrainer le rotor (3) en rotation, caractérisée en ce que la pompe à vide (1) turbomoléculaire comport...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Pompe à vide turbomoléculaire et procédé associé Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un stator (2), un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2) et un moteur (16) configuré pour entrainer le rotor (3) en rotation, caractérisée en ce que la pompe à vide (1) turbomoléculaire comporte en outre un capteur de température (23) configuré pour mesurer la température du rotor (3), et un compteur de maintenance pour fluage (24) configuré pour déterminer un incrément du fluage du rotor (3) sur une durée prédéterminée à partir de la température du rotor (3) mesurée par le capteur de température (23), de la vitesse de rotation du rotor (3), de la valeur du fluage du rotor et du tableau de correspondance, incrémenter la valeur du fluage du rotor avec l'incrément du fluage déterminé, et déterminer une information représentative d'une durée restante avant maintenance préventive du rotor pour fluage à partir de la valeur du fluage incrémentée. Figure d'abrégé : figure 1
The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2), a rotor (3) configured to rotate inside the stator (2) and a motor (16) configured to drive the rotation of the rotor (3), characterized in that the turbomolecular vacuum pump (1) further comprises a temperature sensor (23) configured to measure the temperature of the rotor (3) and a creep maintenance meter (24) configured to determine an incremental change in the creep of the rotor (3) over a predetermined duration from the temperature of the rotor (3), as measured by the temperature sensor (23), from the rotational speed of the rotor (3), from the value of the creep of the rotor, and from the look-up table, to increment the rotor-creep value by the determined creep increment, and to determine, on the basis of the incremented creep value, a data item indicative of the remaining time for which the rotor can run before needing preventive maintenance for creep. |
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