Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma

Dispositif de production d'un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d'un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d'un plasma comprend un générateur à micro-onde (10) fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	RENAUT, Nicolas, LATRASSE, Louis, ZOUBIAN, Fadi
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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