Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma

Dispositif de production d'un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d'un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d'un plasma comprend un générateur à micro-onde (10) fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes et un guide d'ondes (12) couplé au générateur à micro-onde (10) et configuré pour guider une onde d'excitation. Le dispositif comprend également un tube diélectrique (14) s'étendant longitudinalement selon un axe d'extension (60), le tube diélectrique (14) étant configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique (14) traverse de part en part le guide d'ondes (12) ; et une unité d'injection de gaz de réaction configuré pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique (14). Enfin, le dispositif de production d'un plasma comprend en outre une unité d'allumage de plasma. Figure de l'abrégé : Figure 1 A device for producing a plasma, configured to generate a plasma from a reaction gas, wherein the device for producing a plasma comprises a microwave generator operating at a given source frequency comprised within a microwave frequency range and a waveguide coupled to the microwave generator and configured to guide an excitation wave. The device also includes a dielectric tube extending longitudinally along an axis of extension, the dielectric tube being configured to receive the plasma, such as the dielectric tube passes right through the waveguide; and a reaction gas injection unit configured to introduce the reaction gas into the dielectric tube.