Transducteur CMUT

Transducteur CMUT La présente description concerne un transducteur CMUT (200) comportant une membrane flexible (109) suspendue au-dessus d'une cavité (103), et une électrode inférieure (101) située au fond de la cavité (103), en vis-à-vis de la membrane flexible (109),dans lequel l'électro...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	JEANNE, Edgard, BOULME, Audren
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	ELECTRICITY FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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