Transducteur CMUT

Transducteur CMUT La présente description concerne un transducteur CMUT (200) comportant une membrane flexible (109) suspendue au-dessus d'une cavité (103), et une électrode inférieure (101) située au fond de la cavité (103), en vis-à-vis de la membrane flexible (109),dans lequel l'électro...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JEANNE, Edgard, BOULME, Audren
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	ELECTRICITY FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Transducteur CMUT La présente description concerne un transducteur CMUT (200) comportant une membrane flexible (109) suspendue au-dessus d'une cavité (103), et une électrode inférieure (101) située au fond de la cavité (103), en vis-à-vis de la membrane flexible (109),dans lequel l'électrode inférieure (101) est en un matériau semiconducteur dopé d'un premier type de conductivité, et la membrane flexible (109) en un matériau semiconducteur dopé d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type de conductivité. Figure pour l'abrégé : Fig. 2A