Procédé de traitement d'un circuit électronique pour un collage moléculaire hybride

Procédé de traitement d'un circuit électronique pour un collage moléculaire hybride La présente description concerne un procédé de traitement d'un circuit électronique (10) comprenant à un emplacement au moins un plot de test (14) conducteur électriquement ayant une première face (16) expo...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: FOURNEL, Frank, BOURJOT, Emilie, JOUVE, Amandine, DUBARRY, Christophe
Format: Patent
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Procédé de traitement d'un circuit électronique pour un collage moléculaire hybride La présente description concerne un procédé de traitement d'un circuit électronique (10) comprenant à un emplacement au moins un plot de test (14) conducteur électriquement ayant une première face (16) exposée. Le procédé comprend la gravure au moins partielle du plot de test par la première face, et la formation sur le circuit électronique d'un niveau d'interconnexion recouvrant ledit emplacement et comprenant, du côté opposé audit emplacement, une deuxième face plane adaptée pour la réalisation d'un collage moléculaire hybride. Figure pour l'abrégé : Fig. 4A A method of treatment of an electronic circuit including at a location at least one electrically-conductive test pad having a first exposed surface. The method includes the at least partial etching of the test pad from the first surface, and the forming on the electronic circuit of an interconnection level covering said location and including, on the side opposite to said location, a second planar surface adapted for the performing of a hybrid molecular bonding.