Appareil de rognage

Un appareil de rognage comprend une table à mandrin amenant une rainure de forme annulaire avec un diamètre externe inférieur au diamètre externe d'une plaquette à communiquer avec une source d'aspiration pour maintenir, par aspiration, une surface inférieure de la plaquette par la rainure de forme annulaire, une unité de coupe faisant tourner une lame de coupe et coupe de manière annulaire une partie circonférentielle de la plaquette, et une unité de nettoyage nettoyant une région à l'extérieur de la rainure de forme annulaire dans la surface supérieure de la table et la surface supérieure de la table comprenant la rainure de forme annulaire, et étant positionnée sur la région à l'extérieur de la rainure dans la surface supérieure de la table et la surface supérieure de la table à mandrin comprenant la rainure, et la table à mandrin tourne pour nettoyer la rainure et la surface supérieure. Figure pour l'abrégé : Fig. 1. An edge trimming apparatus includes a chuck table that causes a ring-shaped groove with an outer diameter smaller than the outer diameter of a wafer to communicate with a suction source to hold under suction a lower surface of the wafer by the ring-shaped groove, a cutting unit that rotates a cutting blade and annularly cuts a circumferential part of the wafer held by the chuck table, and a cleaning unit that cleans a region outside the ring-shaped groove in the upper surface of the table and the upper surface of the table including the ring-shaped groove. The cleaning unit is positioned to the region outside the ring-shaped groove in the upper surface of the table and the upper surface of the chuck table including the ring-shaped groove, and the chuck table is rotated to clean the ring-shaped groove and the upper surface.