Procédé d'analyse par microscopie électronique

Procédé d'analyse par microscopie électronique La présente description concerne un procédé de microscopie électronique, comprenant l'émission d'un faisceau d'électrons (122) animé d'un mouvement de précession (150) et l'acquisition, au moins en partie simultanée, d'...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BERNIER, Nicolas, HENRY, Loïc
Format: Patent
Sprache:fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Procédé d'analyse par microscopie électronique La présente description concerne un procédé de microscopie électronique, comprenant l'émission d'un faisceau d'électrons (122) animé d'un mouvement de précession (150) et l'acquisition, au moins en partie simultanée, d'une figure de diffraction d'électrons et de valeurs d'intensité de rayons X. Figure pour l'abrégé : Fig. 1 The present disclosure concerns an electron microscopy method, including the emission of a precessing electron beam and the acquisition, at least partly simultaneous, of an electron diffraction pattern and of intensity values of X rays.