Procédé d'analyse par microscopie électronique
Procédé d'analyse par microscopie électronique La présente description concerne un procédé de microscopie électronique, comprenant l'émission d'un faisceau d'électrons (122) animé d'un mouvement de précession (150) et l'acquisition, au moins en partie simultanée, d'...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Procédé d'analyse par microscopie électronique La présente description concerne un procédé de microscopie électronique, comprenant l'émission d'un faisceau d'électrons (122) animé d'un mouvement de précession (150) et l'acquisition, au moins en partie simultanée, d'une figure de diffraction d'électrons et de valeurs d'intensité de rayons X. Figure pour l'abrégé : Fig. 1
The present disclosure concerns an electron microscopy method, including the emission of a precessing electron beam and the acquisition, at least partly simultaneous, of an electron diffraction pattern and of intensity values of X rays. |
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