Procédé de transfert d'un film mince depuis un substrat sur un support souple
Procédé de transfert d'un film mince depuis un substrat sur un support souple L'invention concerne les procédés de transfert d'un film mince 11 depuis un substrat 12 sur un support souple 2. Le procédé comprend : Reporter le support souple par une couche de polymère 21, réticulable so...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Procédé de transfert d'un film mince depuis un substrat sur un support souple L'invention concerne les procédés de transfert d'un film mince 11 depuis un substrat 12 sur un support souple 2. Le procédé comprend : Reporter le support souple par une couche de polymère 21, réticulable sous ultraviolets, directement sur le film mince, l'énergie d'adhérence du polymère évoluant en fonction de son taux de réticulation, en décroissant jusqu'à un point d'énergie d'adhérence minimale atteint pour un taux de réticulation nominal, puis en croissant pour un taux de réticulation supérieur au taux de réticulation nominal, puis Appliquer, sur la couche de polymère, une insolation aux ultra-violets paramétrée de sorte à rigidifier la couche de polymère et avoir une énergie d'adhérence entre le film mince et le support souple supérieure à une énergie d'adhérence entre le film mince et le substrat, puis Retirer le substrat. L'invention trouve des applications dans le domaine de l'électronique sur support souple. Figure pour l'abrégé : Fig. 4
A method of transferring a thin film from a substrate to a flexible support that includes transfer of the flexible support by a layer of polymer, crosslinkable under ultraviolet light, directly on the thin film, the adhesion energy of the polymer evolving according to its degree of crosslinking, decreasing to an energy point d minimum adhesion achieved for a nominal crosslinking rate, then increasing for a crosslinking rate greater than the nominal crosslinking rate, then apply, on the polymer layer, an ultraviolet exposure parameterized so as to stiffen the polymer layer and have an adhesion energy between the thin film and the flexible support greater than an adhesion energy between the thin film and the substrate, then remove the substrate. |
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