Tampon de polissage mécano-chimique et procédé de polissage

Tampon de polissage mécano-chimique et procédé de polissage La présente invention concerne un tampon de polissage mécano-chimique présentant une couche de polissage qui possède un potentiel zêta positif consistant sur la surface entière. Il est également décrit un procédé de polissage mécano-chimiqu...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GADINSKI, Matthew R, ISLAM, Mohammad T, JACOB, George C, GUO, Yi
Format: Patent
Sprache:fre
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