DISPOSITIF DE MESURE TOPOGRAPHIQUE
Le dispositif de mesure (1) de topographie de la surface d'un échantillon comporte un projecteur (3) qui projette une image structurée sur la surface de l'échantillon. Une caméra (4) observe l'image projetée à la surface de l'échantillon. Un dispositif de chauffage (6) applique u...
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Format: | Patent |
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