DISPOSITIF DE MESURE TOPOGRAPHIQUE

Le dispositif de mesure (1) de topographie de la surface d'un échantillon comporte un projecteur (3) qui projette une image structurée sur la surface de l'échantillon. Une caméra (4) observe l'image projetée à la surface de l'échantillon. Un dispositif de chauffage (6) applique une rampe de température sur l'échantillon. Un premier dispositif optique (8a) disposé selon l'axe optique du projecteur (3) vient modifier l'image émise par le projecteur (3) et l'appliquer sur l'échantillon. Le premier dispositif optique (8a) comportant plusieurs lentilles distinctes définissant des grossissements différents. Les lentilles sont montées mobiles entre elles. Un deuxième dispositif optique (8b) est disposé selon l'axe optique de la caméra (4) pour modifier la dimension de la zone d'observation sur la surface de l'échantillon. Le deuxième dispositif optique comporte plusieurs lentilles distinctes qui présentent des grossissements différents. Les lentilles sont montées mobiles pour définir plusieurs zones d'observation de tailles différentes. A device for measuring the surface topography of a sample includes a projector which projects a structured image onto the surface of the sample. A camera observes the image projected onto the surface of the sample. A heating device applies a temperature ramp on the sample. A first optic device located on the optic axis of the projector modifies the image emitted by the projector and applies it on the sample. The first optic device includes several distinct lenses defining different magnifications. The lenses are fitted movable with respect to one another. A second optic device is located on the optic axis of the camera to modify the size of the observation area on the surface of the sample. The second optic device includes several distinct lenses presenting different magnifications. The lenses are fitted movable to define several observation areas of different sizes.