ELLIPSOMETRE OU SCATTEROMETRE SPECTROSCOPIQUE INSTANTANE ET PROCEDE DE MESURE ASSOCIE

L'invention concerne un ellipsomètre ou scattéromètre spectroscopique comprenant une source de lumière (1), un polariseur (5), un système optique d'illumination (2, 4) adapté pour diriger un faisceau lumineux incident polarisé (11) vers un échantillon (6), un séparateur optique de faisceau à division de front d'onde (20) disposé pour recevoir un faisceau lumineux secondaire (12) formé par réflexion, transmission ou diffraction, le séparateur optique de faisceau à division de front d'onde (20) étant orienté pour former trois faisceaux divisés collimatés, un dispositif optique de modification de polarisation (25) et un dispositif optique séparateur de polarisation (26) pour former six faisceaux séparés angulairement, un système optique de focalisation (27) formant six images alignées et séparées spatialement sur la fente d'entrée d'un spectromètre imageur (30) et un système de traitement d'image adapté pour traiter l'image des six sous-images spectrales pour en déduire une mesure spectroscopique d'ellipsométrie ou de scattérométrie. Disclosed is an ellipsometer or scatterometer including a light source, a polarizer, an optical illumination system suitable for directing an incident polarized light beam towards a sample, a wavefront-division optical beam splitter arranged to receive a secondary light beam produced by reflection, transmission or diffraction, the wavefront-division optical beam splitter being oriented to form three collimated split beams, an optical polarization modification device and an optical polarization splitting device to form six angularly split beams, a detection system suitable for detecting the six split beams, and a processing system suitable for deducing therefrom an ellipsometric or scatterometric measurement.