PROCEDE DE DETECTION D'UNE ATTEINTE A L'INTEGRITE D'UN SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR D'UN CIRCUIT INTEGRE DEPUIS SA FACE ARRIERE, ET DISPOSITIF CORRESPONDANT
A semiconductor substrate of an integrated circuit is protected by a coating. The semiconductor includes a front face and a rear face. To detect a breach of the integrity of a semiconductor substrate of an integrated circuit from the rear face, an opening of the coating facing the rear face of the s...
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Format: | Patent |
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