CAPTEUR DE MOTIF THERMIQUE A CAPACITE PYROELECTRIQUE ET COUCHE DE PROTECTION DURE

Capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) disposés sur un substrat (104), chaque pixel comprenant au moins : - une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion (106) de matériau pyroélectrique disposée entre au moins une électrode inférieure (108) et au moins une...

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Hauptverfasser: BENWADIH, MOHAMMED, SERBUTOVIEZ, CHRISTOPHE
Format: Patent
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Capteur (100) de motif thermique comportant plusieurs pixels (102) disposés sur un substrat (104), chaque pixel comprenant au moins : - une capacité pyroélectrique formée par au moins une portion (106) de matériau pyroélectrique disposée entre au moins une électrode inférieure (108) et au moins une électrode supérieure (110), avec l'électrode inférieure disposée entre le substrat et la portion de matériau pyroélectrique, - une couche diélectrique (112) telle que l'électrode supérieure soit disposée entre la portion de matériau pyroélectrique et la couche diélectrique, - un élément chauffant (114) comprenant au moins un dépôt de particules électriquement conductrices et tel que la couche diélectrique soit disposée entre l'électrode supérieure et l'élément chauffant, - une couche de protection (200) disposée entre la couche diélectrique et l'élément chauffant et comprenant au moins un matériau dont la dureté Shore A est supérieure ou égale à environ 60. Thermal pattern sensor comprising several pixels arranged on a substrate, each pixel including at least: a pyroelectric capacitance formed by at least one portion of pyroelectric material arranged between at least one lower electrode and at least one upper electrode, with the lower electrode arranged between the substrate and the portion of pyroelectric material, a dielectric layer such that the upper electrode is arranged between the portion of pyroelectric material and the dielectric layer, a heating element including at least one deposition of electrically conductive particles and such that the dielectric layer is arranged between the upper electrode and the heating element, a protective layer arranged between the dielectric layer and the heating element and including at least one material of which the Shore A hardness is greater than or equal to around 60.