PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS, EN PARTICULIER DES TRANSISTORS DE SELECTION POUR DES MEMOIRES NON-VOLATILES, ET DISPOSITIF CORRESPONDANT
Un transistor MOS à deux grilles verticales (TS) comporte une zone d'un substrat semiconducteur (ZS) ayant un premier type de conductivité séparée du reste du substrat (SUB) par deux premières tranchées parallèles (GT1, GT2) s'étendant dans une première direction (X), une région isolée de...
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Format: | Patent |
Sprache: | fre |
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